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真空泵有哪些分类?
按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括:
1、液环真空泵(水环式真空泵)
2、往复式真空泵
3、旋片式真空泵
4、定片式真空泵
5、滑阀式真空泵
6、余摆线真空泵
7、干式螺杆真空泵
8、罗茨真空泵
9、分子真空泵
10、牵引分子泵
11、复合式真空泵
12、水喷射真空泵
13、气体喷射泵
14、蒸汽喷射泵
15、扩散泵等。
气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等。
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