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COBRA BC 1000 / 2000 F
COBRA BC 1000 F 和 BC 2000 F 是 久经考验的 COBRA BC 系列中的两款干式螺杆真空泵。泵速快、氢抽吸量高使得它们成为光伏电池、平板显示器和半导体等苛刻生产流程的理想之选。COBRA 真空泵采用的是无油和非接触式技术，能够抽空含粉末和颗粒的介质。COBRA BC 1000 F 和 BC 2000 F 集成增压泵作为标准配置，提供更高的抽速和极限压力。前级泵和增压泵组合于紧凑的基架上。COBRA BC 1000 F 和 BC 2000 F 配备了高效电机，拥有待机模式，可以实现最佳节能潜力。 它们结构紧凑，需要空间小，极低的能源需求也将运营成本降到最低。COBRA BC 真空泵使用寿命长，进一步削减了总成本。将简单、快捷的将这些螺杆真空泵改装到现有系统中。
应用
高密度等离子体 CVD (HDP CVD)
快速热处理 (RTP)
次常压 CVD (SACVD)
金属有机 CVD (MOCVD)
等离子体增强 CVD (PECVD)
低压 CVD (LPCVD)
原子层沉积 (ALD)
负荷锁定应用
技术说明
COBRA BC 1000 F 和 BC 2000 F 是单级双螺杆真空泵。泵缸内有两个螺杆转子旋转，捕获并压缩泵介质，将其输送到出气口。在压缩过程中，螺杆转子之间不会互相接触或触碰泵缸，因此，压缩室内无需润滑剂和工作液。螺杆设计的最新开发功能可以大幅降低能量消耗，防止压缩过程中气体温度过高。现代螺杆技术还有助于形成排放氢气所需的极高抽速。罗茨真空泵被用作增压泵，与螺杆真空泵结合形成紧凑机组。 有效、迂回的水冷系统使真空泵内温度分布均匀，并保证 COBRA BC 在整个流程中的热稳定性。
COBRA BC 1000/2000 F
泵速
空气温度为 20°C。公差：± 10% 50 Hz 60 Hz
| 技术参数 | COBRA BC 1000 F | COBRA BC 2000 F | ||
|---|---|---|---|---|
| 额定抽速 | m³/h | 930 | 1580 | |
| 前置真空泵电机额定功率 | kW | 1.5 | 2.9 | |
| 罗茨泵电机额定功率 | kW | 2.9 | 4.0 | |
| Nominal motor speed backing pump | min-1 | 3000 | 4800 | |
| Nominal motor speed vacuum booster | min-1 | 5400 | 5400 | |
| 极限压力 | hPa (mbar) | 0.003 | 0.003 | |
| Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode | kW | 2.1 / 1.5 | 3.0 / 1.9 | |
| 噪声级 (ISO 2151) | dB(A) | 62 | 62 | |
| 用水量 | l / min | 3.0 | 3.0 | |
| 氮气消耗 | l / min | 0 - 50 | 0 - 50 | |
| 重量（约） | kg | 310 | 360 | |
| 尺寸 (L x W x H) | mm | 1054 x 425 x 615 | 1054 x 425 x 615 | |
| 进气口/排气口 | 50 Hz | DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF | DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF | |
| 所有性能数据均基于14.7 PSIA和70°F的环境条件，公差为±10％。 |
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