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COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C 是久经考验的干式螺杆真空泵，用于疏散负载锁定腔及光伏电池、平板显示器和半导体等其他苛刻的生产流程。该真空泵在性能级别方面具有空气冷却高效、泵速最高的特点，是所有要求高效、快速和稳定真空生成应用的理想之选。COBRA 真空泵采用的是无油和非接触式技术，能够抽空含颗粒的介质。
COBRA BA 0100 C 配备了高效电机，拥有待机模式，可以实现最佳节能潜力。
COBRA BA 0100 C 结构紧凑，需要空间小，极低的能源需求也将运营成本降到最低。
应用
• 高密度等离子体 CVD (HDP CVD)
• 快速热处理 (RTP)
• 次常压 CVD (SACVD)
• 金属有机 CVD (MOCVD)
• 等离子体增强 CVD (PECVD)
• 低压 CVD (LPCVD)
• 原子层沉积 (ALD)
• 负荷锁定应用
技术说明
COBRA BA 0100 C 是一种单级双螺杆真空泵。泵缸内有两个螺杆转子旋转，密封并压缩泵介质，将其输送到出气口。在压缩过程中，螺杆转子之间不会互相接触或触碰泵缸，因此，压缩室内无需润滑剂和工作液。螺杆设计的最新开发功能是悬臂式转子排列，这种设计能够大幅降低能量消耗，防止压缩过程中气体温度过高。。COBRA BA 0100 C 集成高效的风冷系统作为标准配置。
COBRA BA 0100 C
泵速
空气温度为 20°C。公差：± 10% 50 Hz 60 Hz 50 Hz60 Hz
| 技术参数 | COBRA BA 0100 C | ||
|---|---|---|---|
| 额定抽速 | m³/h | 50 Hz | 85 |
| 极限压力 | hPa (mbar) | 0.01 | |
| 电机额定功率 | kW | 50 Hz | 1.5 |
| 电机额定转速 | min-1 | 50 Hz | 3000 |
| 极限压力时的功耗 | kW | 50 Hz | 1.1 |
| 噪声级 (ISO 2151) | dB(A) | 58 | |
| 氮气消耗 | l / min | 50 Hz | 0-50 |
| 重量（约） | kg | 120 | |
| 尺寸 (L x W x H) | mm | 634 x 304 x 338 | |
| 进气口/排气口 | DN 50 KF / DN 40 KF |
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